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半导体制程(支撑)材料

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高纯四氟化锗CAS#:7783-58-6

更新时间:2020-07-04 点击数:1199

高纯四氟化锗CAS#:7783-58-6

四氟化锗(GeF4)是一种锗的氟化物,分子量为148.63,无色、辛辣大蒜气味气体,空气中遇水产生大量白烟。常态下四氟化锗性质稳定,在水中发生水解,生成GeO2和H2GeF6。四氟化锗在半导体行业中用于掺杂和离子注入。四氟化锗结合乙硅烷气体,可以直接在玻璃基底上制造硅锗微晶。

产品指标

产品用途:

四氟化锗在半导体行业中用于掺杂和离子注入。四氟化锗结合乙硅烷气体,可以直接在玻璃基底上制造硅锗微晶。四氟化锗在化学工业中还可用于合成试剂。    

包装、贮存:

四氟化锗充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为2 L、5 L、8 L、10 L等。具体包装规格可根据用户需求定制更改。四氟化锗储存于阴凉、通风的库房,远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备。


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